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9축 스마트 모션센서 핵심 요소기술 개발(거대자기저항 센서)

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과학기술서비스
담당자
admin
작성일
2019-03-11 14:41
조회
326
기술명 9축 스마트 모션센서 핵심 요소기술 개발(거대자기저항 센서)
프로젝트 타입 물리학
지적 재산권 양식 특허출원
희망거래유형 라이센스,기술협력,기술지도
기술개발상태 기술개발완료
기술설명 본 발명의 일 실시예에 따른 GMR 센서는 사각형의 변에 각각 배치되는 제1내지 제4 GMR 저항을 포함한다. 상기 제1 내지 제4 GMR 저항 각각은, 기판 상에 배치된 단열 절연층; 상기 단열 절연층 상에 배치된 가열 라인; 상기 가열 라인 상에 차례로 적층된 고정층, 비자성 금속층, 및 자유층을 포함하는 GMR 소자; 상기 가열라인의 일단에 연결된 제1 가열 라인 패드; 상기 가열 라인의 타단에 연결된 제2가열 라인 패드; 상기 GMR 소자의 일단에 연결된 제1 연결 패드; 및 상기 GMR 소자의 타단에 연결된 제2 연결 패드를 포함한다. 상기 GMR 소자의 고정층의 자화 방향은 상기 제1 내지 제4 GMR 저항에서 서로 다르다.
연락처 제타플랜 기술이전사업부 임용택 이사
TEL : 02-538-4801
E-mail : brkim0622@daum.net
판매기간 2019-03-11 ~ 2020-03-11